特許
J-GLOBAL ID：200903010127030260
加速度検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田澤 博昭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-282229
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109758
出願日： 1992年09月29日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】【目的】 加速度検出梁における薄肉部の折れを、この薄肉部の全幅に亘って検知できるようにする。【構成】 加速度検出梁上に、上記台座側から上記薄肉部を横断して上記おもり付近に達し、再び上記台座側へ戻るような薄肉部折れ検知用配線手段を設ける。
請求項（抜粋）：
一端部が台座に支持され、他端部におもりが設けられた加速度検出梁と、該加速度検出梁に形成され、加速度を受けて発生する応力を集中させる薄肉部と、該薄肉部上に設けられて、上記応力の変化を電気信号に変換するブリッジ接続された圧電素子を含む加速度検出部と、該加速度検出部および薄肉部を有する上記加速度検出梁を粘性オイル内に封入するケースとを備えた半導体加速度検出装置において、上記加速度検出梁上に、上記台座側から上記薄肉部を横断して上記おもり付近に達し、再び上記台座側へ戻るような薄肉部折れ検知用配線手段を設けたことを特徴とする加速度検出装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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