特許

J-GLOBAL ID：200903010128131087

フレーム付きペリクル及びその搬送方法

発明者： 田渕千裕 ,  山内高志
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-123035
公開番号（公開出願番号）：特開平5-313355
出願日： 1992年05月15日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：

【要約】【目的】 搬送時に搬送治具とペリクルフレームとの擦れ等によって塵が発生するのを防止する。【構成】 一定の厚さを有するフレーム1の一方の面にペリクル膜2が張り渡されて固定されてなり、フォトマスクを塵、ゴミ等から保護するために使用されるフレーム付きペリクルにおいて、フレーム1を磁石に吸着する材料で構成し、搬送治具10に電磁石11を設け、両者の接触面積を極力小さくし、搬送時に搬送治具10の電磁石を作用させてフレーム1を吸着させて、両者の間の擦れをなくすことにより発塵を防止する。

請求項（抜粋）：

一定の厚さを有するフレームの一方の面にペリクル膜が張り渡されて固定されてなり、フォトマスクを塵、ゴミ等から保護するために使用されるフレーム付きペリクルにおいて、前記フレーム全体若しくはフレームの一部が強磁性体により構成されていることを特徴とするフレーム付きペリクル。

IPC (3件)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027 ,  B65G 45/10

FI (2件)：

H01L 21/30 301 P ,  B65G 45/00 510 D