特許
J-GLOBAL ID：200903010130987827
配線パターン検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-329108
公開番号（公開出願番号）：特開平6-288739
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：
【要約】【目的】 プリント基板やホトマスク等における配線パターンの不良検査に関するもので、簡便で信頼性の高い配線パターン検査装置を提供する。【構成】 領域分離手段14でパターンの大きさや形状に応じて入力画像を複数の領域に自動的に分離し、デザインルール検査手段15と辞書比較手段16と特定形状検出手段17に対し各々の検査手段に適合した領域を指示し、デザインルール検査手段15では信号線の線幅など設計ルールに基づいた特徴情報の検出を行い、辞書比較手段16では電源グランドパターンのような不規則な図形領域に対し、良品の局所パターンを登録した辞書テーブルを参照し辞書テーブルに登録されていない局所パターンの位置を検出し、特定形状検出手段17では矩形パターンのコーナーなど所定の図形形状を検出する。
請求項（抜粋）：
プリント基板を上方からの反射照明と下方からの透過照明で照明し、プリント基板の反射光と透過光を検知し光電変換する画像入力手段と、前記画像入力手段からの濃淡画像を2値画像に変換する2値化手段と、前記2値化手段からの2値画像からスルーホールを分離抽出しスルーホールを充填した画像を生成するとともに、パッドの座残り幅が不足する位置を検出するスルーホール検出手段と、前記2値化手段またはスルーホール検出手段からの2値画像をパターンの大きさや形状に応じて複数の領域に分離し、前記領域を指示する複数の2値画像を生成する領域分離手段と、前記2値化手段またはスルーホール検出手段からの2値画像に対し、前記領域分離手段からの領域画像で指定された領域に対し、線幅や線間隔を測定し設計ルールに定められた基準に違反する位置や、断線や分岐などの位置を特徴情報として検出するデザインルール検査手段と、前記2値化手段またはスルーホール検出手段からの2値画像において、前記領域分離手段からの領域画像で指定された領域に対し、予め良品基板の全ての局所パターンが登録された辞書テーブルを参照し、前記辞書テーブルに存在しない局所パターンの位置を検出する辞書比較手段と、前記2値化手段またはスルーホール検出手段からの2値画像に対し、前記領域分離手段からの領域画像で指定された領域に対し、パターンのコーナーなど所定の形状を有する位置を特徴情報として検出する特定形状検出手段と、良品基板の特徴情報を記憶する特徴情報記憶手段と、前記スルーホール検出手段とデザインルール検査手段と辞書比較手段及び特定形状検出手段により検出された特徴情報と、前記特徴情報記憶手段からの特徴情報を比較し真の欠陥のみを検出する比較判定手段を備えた配線パターン検査装置。
IPC (5件)：
G01B 11/24
, G01N 21/88
, G06F 15/62 405
, G06F 15/64
, G06F 15/70 455
