特許
J-GLOBAL ID:200903010134862450

ICの傾き検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山本 誠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-174784
公開番号(公開出願番号):特開平5-340738
出願日: 1992年06月09日
公開日(公表日): 1993年12月21日
要約:
【要約】【目的】 ICの位置決めのための傾き検査を2値画像または個々のピンの画像情報に基づかずとも、高速かつ高精度に実行し得るICの傾き検査方法を提供することを目的とする。【構成】 ICピン先端を含む検査領域を複数設定し、各々の検査領域の濃度投影図からICピン先端を検出し、この先端に沿った直線上で代表点を求め、ICの各辺についてこの代表点を実質的に通過する近似直線を求め、これら近似直線の交点と傾きに基づきICの中心及び傾きを求める。
請求項(抜粋):
各辺がX軸、Y軸に略平行になるように配置されるICの傾き検査方法において、ICの画像を入力し、この画像における複数の所定位置に、ICピン先端を含む検査領域を設定し、各検査領域内で予想されるICピン並列方向に沿った濃度投影を生成し、この濃度投影の1次微分における最大値の位置をICピン先端とみなし、このICピン先端位置について、前記各検査領域の所定位置の点を代表点とし、各検査領域の代表点を実質的に結ぶ直線の傾きに基づいてICの傾きを算出するICの傾き検査方法。
IPC (4件):
G01B 11/26 ,  G06F 15/62 405 ,  G06F 15/70 350 ,  H05K 13/04

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