特許
J-GLOBAL ID：200903010140355810
ガスレ-ザ発振装置の制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中井 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-273075
公開番号（公開出願番号）：特開平7-106679
出願日： 1993年10月04日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：
【要約】【目的】 長期間停止後の運転直後において発生する消費電力の増大を軽減すること及びカソード電極2から飛散するスパッタによる放電管3、出力鏡4、パワーモニタ鏡5等の寿命低下を大幅に軽減すること【構成】 レーザ出力基準信号回路LRFを大小2系統とし、領域判別回路BDSによってレーザ出力値Poutの動作領域を判別して、放電電力値Pinの増加に対してレーザ出力値Poutが減少する出力低下領域に入ったときに、予め定めた条件内にあるとき又はタイマ回路TM1に設定された時間だけレーザ出力高基準信号Lrhからレーザ出力低基準信号Lrsに切り換えて、放電管3の内部の放電電力値Pinを低下させて単調増加領域に戻しレーザ出力値Poutを制御することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
出力鏡とパワーモニタ鏡とを含む2枚以上の鏡の間に、絶縁体によって放電管を形成して、前記放電管の両端に、アノード電極とカソード電極とを含む2個以上の電極を配置し、前記両電極間に直流高電圧電源回路を接続して、放電管の内部のレーザ媒質をプラズマ放電させてレーザ励起を行う空間を持つレーザ共振器と、前記パワーモニタ鏡から出力されるパワーモニタ用レーザ光を検出してモニタ用レーザ光検出信号に変換するレーザ出力検出回路と、レーザ出力値を設定するレーザ出力基準信号回路と、前記レーザ出力検出回路の出力値と前記レーザ出力基準信号回路の設定値とを比較するレーザ出力基準比較回路と、前記直流高電圧電源回路から出力される放電電流の電流値を検出して放電電流検出信号を出力する放電電流検出回路と、レーザ出力基準比較信号と前記放電電流検出信号とを比較するレーザ出力放電比較回路と、前記レーザ出力基準比較信号によって前記直流高電圧電源回路の出力電流の電流値を制限する過電流保護回路とから形成されたガスレーザ発振装置において、前記レーザ出力基準信号回路をレーザ出力高基準信号を出力するレーザ出力高基準回路及びレーザ出力低基準信号を出力するレーザ出力低基準信号回路の大小2系統とし、パワーモニタ用レーザ光の検出信号とレーザ出力高基準信号又は低基準信号との比較信号を入力とする領域判別回路によってレーザ出力値の動作領域を判別して、放電電力値の増加に対してレーザ出力値が減少する出力低下領域に入ったときに、予め定めた条件内にあるとき又はタイマ回路に設定された時間だけレーザ出力高基準信号からレーザ出力低基準信号に切り換えて、放電管の内部の放電電力値を低下させて単調増加領域に戻すガスレーザ発振装置の制御方法。
IPC (3件)：
H01S 3/104
, H01S 3/097
, H01S 3/134
