特許
J-GLOBAL ID:200903010147236248

合成石英ガラスの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): ▲高▼野 俊彦 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-331233
公開番号(公開出願番号):特開平8-165131
出願日: 1994年12月08日
公開日(公表日): 1996年06月25日
要約:
【要約】【目的】 均一にアルミニウムを含有し、かつOH基およびCl基を殆ど含有しない高純度で高温粘性を有する合成石英ガラスの製造方法を提供する。【構成】 メチルシリケートとアルミニウムアルコキシドとを混合・攪拌して得られた溶液を、アンモニアの存在下で加水分解してアルミニウムを含有するシリカ粒子を得、これを固液分離して脱水したシリカ粒子をさらに加熱して脱炭した後、焼結して合成石英ガラスインゴットを得た後、このアルミニウムを含有する合成石英ガラスインゴットを粉砕、篩別、磁選、精製して合成石英ガラス粉とし、これを常圧、加圧又は真空下で溶融して合成石英ガラスを製造する方法において、前記焼結工程において、一旦α-クリストバライトに結晶転移させた後、真空下又は減圧下で1,800〜1,950°Cにて溶融ガラス化する。
請求項(抜粋):
メチルシリケートとアルミニウムアルコキシドとを混合・攪拌して得られた溶液を、アンモニアの存在下で加水分解してアルミニウムを含有するシリカ粒子を得、これを固液分離して脱水したシリカ粒子をさらに加熱して脱炭した後、焼結して合成石英ガラスインゴットを得た後、このアルミニウムを含有する合成石英ガラスインゴットを粉砕、篩別、磁選、精製して合成石英ガラス粉とし、これを常圧、加圧又は真空下で溶融して合成石英ガラスを製造する方法において、前記焼結工程において、一旦α-クリストバライトに結晶転移させた後、真空下又は減圧下で1,800〜1,950°Cにて溶融ガラス化することを特徴とする合成石英ガラスの製造方法。
IPC (3件):
C03B 20/00 ,  C03B 8/02 ,  C03C 3/06

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