特許

J-GLOBAL ID：200903010158231019

電気信号測定装置

発明者： 長谷川 昇 ,  植田 健司 ,  松本 貴裕
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 田北 嵩晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-059257
公開番号（公開出願番号）：特開平5-226431
出願日： 1992年02月14日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、光導電素子の評価方法に関するものである。反転対称性のない結晶あるいは結晶表面で発生する共鳴第2高調波を利用することによって超高速電気信号を高感度で測定することができる。【構成】 フェムト秒レーザー1の光は、ビームスプリッター2で時間遅延をつけたパルス3とパルス4に分けられ、レンズ5で集光される。パルス3は、波長変換素子13を通った後光導電素子のギャップ上に集光され、フェムト秒の電圧パルスが発生させられる。パルス4は、伝送線間に照射され、第2高調波が発生する。このとき、伝送線間に電位が存在することによって、分極が生じ発生する第2高調波の強度が変化する。レーザーの波長が基板材料の吸収帯の2倍になるようにレーザー、基板材料を選ぶことによって共鳴を起こし、発生する第2高調波の強度を増加させる。

請求項（抜粋）：

測定対象である光導電素子が作られている結晶の遷移周波数の2倍の周波数を持つ短パルスレーザー発生装置と、パルス光を2つのビームに分離しその一方に時間遅延を与える遅延素子と、一方のパルス光を基板材料の吸収帯に波長変換し光導電素子を駆動させるための励起光を発生させる波長変換素子と、他方のパルス光を該電極間より発生した共鳴第2高調波を検出する光学系とを備えたことを特徴とする電気信号測定装置。