特許
J-GLOBAL ID：200903010159242529
電子線装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-033574
公開番号（公開出願番号）：特開2001-229810
出願日： 2000年02月10日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
要約：
【要約】【課題】 スペーサの形状、帯電防止膜の働きで、電子線の乱れを防止し、好ましい電子線装置を提供する。【解決手段】 所要雰囲気で密閉された外囲器内において電子源と、該電子源に対向した電子線被照射部材と、前記電子源と前記電子線被照射部材との間に配置されたスペーサとを有する電子線装置において、該スペーサは、前記電子源と電子線被照射部材との間で起立する露出表面の凹凸に関して、前記露出表面の中央領域における前記凹凸に沿った単位実表面積を前記中央領域での直平面の単位面積で割った値よりも、前記露出表面の電子源側領域における前記凹凸に沿った単位実表面積を前記電子源側領域での直平面の単位面積で割った値が小さくなるように、前記露出表面に対して前記凹凸を形成している。
請求項（抜粋）：
所要雰囲気で密閉された外囲器内において電子を放出する電子源と、該電子源に対向して前記外囲器内に設けた電子線被照射部材と、前記電子源と前記電子線被照射部材との間に配置されたスペーサとを有する電子線装置において、該スペーサは、前記電子源と電子線被照射部材との間で起立する露出表面の凹凸に関して、前記露出表面の中央領域における前記凹凸に沿った単位実表面積を前記中央領域での直平面の単位面積で割った値よりも、前記露出表面の電子源側領域における前記凹凸に沿った単位実表面積を前記電子源側領域での直平面の単位面積で割った値が小さくなるように、前記露出表面に対して前記凹凸を形成していることを特徴とする電子線装置。
IPC (4件)：
H01J 5/03
, H01J 9/24
, H01J 29/87
, H01J 31/12
H01J 5/03
, H01J 9/24 A
, H01J 29/87
, H01J 31/12 C
5C012AA05
, 5C012BB07
, 5C032CC10
, 5C036EE09
, 5C036EE14
, 5C036EF01
, 5C036EF06
, 5C036EF09
, 5C036EG01
, 5C036EH01
