枚葉基板処理方法およびその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮井暎夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-001057
公開番号（公開出願番号）：特開平7-201798
出願日： 1994年01月11日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：

【要約】【目的】クリーンルームのランニングコストを低減し歩留りを向上することができる枚葉基板処理方法を提供する。【構成】カップ状容器2内で液体を用いて基板1を処理する処理工程と、カップ状容器2をほぼ密閉しカップ状容器2の雰囲気を循環ライン20を経由して循環するとともにカップ状容器2内の雰囲気中のダストおよび水分を循環ライン20において分離手段21により分離しながら基板1を乾燥する乾燥工程とを含んでいる。

請求項（抜粋）：

処理室内で液体を用いて基板を処理する処理工程と、前記処理室をほぼ密閉し前記処理室の雰囲気を循環ラインを経由して循環するとともに前記処理室内の雰囲気中のダストおよび水分を前記循環ラインにおいて分離手段により分離しながら前記基板を乾燥する乾燥工程とを含む枚葉基板処理方法。

IPC (7件)：

H01L 21/304 341 , H01L 21/304 351 , H01L 21/304 361 , B08B 3/02 , B08B 11/04 , F26B 21/14 , G02F 1/1333 500

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