特許

J-GLOBAL ID：200903010161568229

レ-ザ照射装置

発明者： 松中 繁樹 ,  藤原 淳史
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-331755
公開番号（公開出願番号）：特開平11-162868
出願日： 1997年12月02日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】 この発明は被加工物からの反射光がレ-ザ発振器に戻るのを防止したレ-ザ照射装置を提供することを目的とする。【解決手段】 レ-ザ発振器1から出力されたレ-ザ光を光学系を通して被加工物19に導くレ-ザ照射装置において、上記レ-ザ光の光路には、上記被加工物で反射したレ-ザ光が上記レ-ザ発振器に戻るのを阻止するスリット21が設けられていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

レ-ザ発振器から出力されたレ-ザ光を光学系を通して被加工物に導くレ-ザ照射装置において、上記レ-ザ光の光路には、上記被加工物で反射したレ-ザ光が上記レ-ザ発振器に戻るのを阻止する反射光阻止手段が設けられていることを特徴とするレ-ザ照射装置。

IPC (3件)：

H01L 21/268 ,  H01L 21/20 ,  H01S 3/038

FI (3件)：

H01L 21/268 J ,  H01L 21/20 ,  H01S 3/03 B