欠陥検査装置、欠陥検査方法及び平面度検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-211980
公開番号（公開出願番号）：特開平10-038814
出願日： 1996年07月23日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】【課題】本発明は、欠陥検査装置及び欠陥検査方法において、ペリクルの膨らみを防止して検出感度の低下を回避し得るようにし、また平面度検査装置において、検査対象物の平面度を容易に検出し得るようにする。【解決手段】ペリクルフレームに張り付けられたペリクルを載置するステージと、ペリクルに光ビームを照射する第1の照射手段と、光ビームをペリクルに照射した際にペリクルからの光を受光する受光部と、受光部から得られる信号からペリクルの欠陥の有無を検出する第1の検出手段と、ペリクルをステージに載置した際にペリクル、ステージ及びペリクルフレームで形成される内部空間と内部空間と異なる空間とを接続する通気手段とを設ける。通気手段によつて、ペリクルとステージとの間の空間に巻き込まれた、または熱により膨張した空気等を外部に逃がすことができ、ペリクル表面の膨らみを防止することができる。

請求項（抜粋）：

ペリクルフレームに張り付けられたペリクルを載置するステージと、前記ペリクルに光ビームを照射する第1の照射手段と、前記光ビームを前記ペリクルに照射した際に得られる前記ペリクルからの光を受光する受光部と、前記受光部から得られる信号からペリクルの欠陥の有無を検出する第1の検出手段と、前記ペリクルを前記ステージに載置した際に前記ペリクル、前記ステージ及び前記ペリクルフレームで形成される内部空間と、該内部空間と異なる空間とを接続する通気手段とを具えることを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 , G01B 11/30 , G01B 11/30 101

FI (3件)：

G01N 21/88 E , G01B 11/30 C , G01B 11/30 101 A

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