シリコン単結晶引き上げ用大口径石英ガラスるつぼ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石原詔二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-022883
公開番号（公開出願番号）：特開2000-219593
出願日： 1999年01月29日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
要約：

【要約】【課題】シリコン単結晶の引き上げを行なう場合に、シリコンメルトへの種付け、シリコン単結晶の引き上げ中にシリコンメルトの振動は発生せず、安定してシリコン単結晶の引き上げを行うことができるようにしたシリコン単結晶引き上げ用大口径石英ガラスるつぼを提供する。【解決手段】半透明石英ガラス層のるつぼ基体と、該るつぼ基体の内壁面に形成された透明石英ガラス層からなるシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼであり、該石英ガラスるつぼを用いて、シリコン単結晶を引き上げた際に、シリコンメルト湯面の振動が発生しないようにした。

請求項（抜粋）：

半透明石英ガラス層のるつぼ基体と、該るつぼ基体の内壁面に形成された透明石英ガラス層からなるシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼであり、該石英ガラスるつぼを用いて、シリコン単結晶を引き上げた際に、シリコンメルト湯面の振動が発生しないことを特徴とするシリコン単結晶引き上げ用大口径石英ガラスるつぼ。

IPC (2件)：

C30B 15/10 , C03B 20/00

FI (2件)：

C30B 15/10 , C03B 20/00 H

Fターム (9件)：

4G014AH12 , 4G014AH21 , 4G014AH23 , 4G077AA02 , 4G077BA04 , 4G077CF10 , 4G077EG02 , 4G077PD02 , 4G077PD08

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平1-148783
特公平4-022861
シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボとその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-093861 出願人：信越石英株式会社

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