特許
J-GLOBAL ID：200903010176686619
レジスト塗布装置
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-007180
公開番号（公開出願番号）：特開平6-216017
出願日： 1993年01月20日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 レジスト塗布装置における塗布ムラ不良の低減及び生産性の向上。【構成】 ウエハにレジストを塗布するレジスト塗布装置であって、第1気泡検出センサ6aより下流で混入した気泡を検出可能な第2気泡検出センサ6bを有し、第1気泡検出センサ6aより下流で混入した気泡を第2気泡検出センサ6bで検出し、塗布制御部21の制御のもとに気泡排除を行うことにより、塗布ムラに起因する不良の低減及び気泡排除作業の為のレジスト塗布装置の停止時間の短縮による装置稼働率が向上する。
請求項（抜粋）：
レジストを内包するボトルと、レジストを吸引及び排出するポンプと、レジストを半導体ウエハに塗布するノズルと、レジスト廃液を蓄えるタンクと、ボトルとポンプを繋ぎレジストを移送する第1配管と、ポンプとノズルを繋ぎレジストを移送する第2配管と、前記第1配管内でのレジスト中の気泡を検出する第1気泡検出センサと、ボトル内の圧力を上昇させる圧縮気体を送気する気体供給配管と、気体供給配管の途中に設けられた気体供給配管バルブとレジストの温度を調整する温度調整器とを有するレジスト塗布装置において、前記第1配管の途中で前記第1気泡検出センサよりもポンプ側に設けられた第1バルブと、前記第2配管の途中に設けられ、前記第2配管内でのレジスト中の気泡を検出する第2気泡検出センサと、前記第2配管の途中で前記第2気泡検出センサよりもポンプ側に設けられた第2バルブと、ポンプとタンクを繋ぎレジストを移送する第3配管の途中に設けられた第3バルブと、前記第1気泡検出センサによる気泡検出信号及び第2気泡検出センサによる気泡検出信号に基づいて、前記第1バルブ、第2バルブ、第3バルブ及び気体供給バルブを制御する塗布制御装置を有することを特徴とするレジスト塗布装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/16 501
