特許

J-GLOBAL ID：200903010188827102

X線照射装置

発明者： 渡辺 仁
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-227952
公開番号（公開出願番号）：特開平5-067560
出願日： 1991年09月09日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：

【要約】【目的】本発明は、X線の透過を妨げずにX線の透過部の機械的強度を向上することができるX線照射装置に関し、十分にX線を透過させるためX線の透過部の透過隔壁の膜厚を薄くした場合でも、機械的な強度を十分に保持することができるX線照射装置の提供を目的とする。【構成】減圧容器と、該減圧容器内のX線の発生部と、前記減圧容器の壁を貫通する窓に前記減圧容器内部と外部とを遮断するX線の透過隔壁が形成されたX線の透過部とを有するX線照射装置であって、前記透過隔壁12aの表面に補強材17aが形成されていることを含み構成する。

請求項（抜粋）：

減圧容器と、該減圧容器内のX線の発生部と、前記減圧容器の壁を貫通する窓に前記減圧容器内部と外部とを遮断するX線の透過隔壁が形成されたX線透過部とを有するX線照射装置であって、前記透過隔壁の表面に補強材が形成されていることを特徴とするX線照射装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521 ,  H05G 1/02