荷電粒子線装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-057838
公開番号（公開出願番号）：特開平9-251844
出願日： 1996年03月14日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】観察倍率変更時や画像記録時に最適フォーカス条件を維持する。【解決手段】像表示装置17の表示画素の大きさに対応する試料上での画素サイズと最適フォーカス条件の関係を記憶装置19に記憶し、その関係を用いて倍率変更時にフォーカス電流を補正する。また、画像を記録するときの画素サイズとフォーカスを調整したときの画素サイズの違いに対応して画像記録時にフォーカス電流を補正する。【効果】一度フォーカス調整を行うと、観察倍率を変更したり像記録を行うときに、常に最高の画質で画像の観察及び記録を行うことができる。

請求項（抜粋）：

荷電粒子線源から放出された荷電粒子線を試料上で走査し、前記試料から発生した信号を検出して走査像を得る荷電粒子線装置において、フォーカス電流を像の表示倍率に連動して変化させる制御手段を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (2件)：

H01J 37/21 , H01J 37/22 502

FI (2件)：

H01J 37/21 B , H01J 37/22 502 D

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