特許
J-GLOBAL ID：200903010197091283
荷電粒子除去電極及びその除去方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
湯浅 恭三 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-162586
公開番号（公開出願番号）：特開平7-016432
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年01月20日
要約：
【要約】【目的】 原子ビーム中の荷電粒子を効率良く取り除く電極及びその方法を提供する。【構成】 荷電粒子を含む原子ビームから荷電粒子を取り除くための除去電極において、該除去電極が二段以上の電極から成ることを特徴とするもの。後段の除去電極には、前段の除去電極よりも高い負電圧を印加する。
請求項（抜粋）：
荷電粒子を含む原子ビームから荷電粒子を取り除くための除去電極において、該除去電極が二段以上の電極から成ることを特徴とするもの。
IPC (2件)：
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