特許
J-GLOBAL ID：200903010198431320
カーフチェックに基づく自動ダイシングシステム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-147923
公開番号（公開出願番号）：特開平5-326700
出願日： 1992年05月15日
公開日（公表日）： 1993年12月10日
要約：
【要約】【目的】 本切削前のプリカットを自動的に能率良く行え、且つ切削開始後ダイシング中に定期的に行うカーフチェックも自動的に簡単に行えるようにした、自動ダイシングシステムを提供する。【構成】 半導体ウェーハをブレードでダイシングするダイシングシステムであって、ブレードの切削状態を良好にするために切削送り速度を低速から高速に徐々に変化させてウェーハを切削するプリカットを行う。このプリカットの結果を、カーフを画像処理してチェックすることで検出し、この検出結果が良好であればウェーハのダイシングを遂行し、不良であれば再びプリカットを遂行する。本切削開始後に定期的にカーフチェックを遂行し、必要に応じてプリカットすることで良好なダイシングを自動的に保持することができる。
請求項（抜粋）：
半導体ウェーハをブレードでダイシングするダイシングシステムであって、ブレードの切削状態を良好にするために切削送り速度を低速から高速に徐々に変化させてウェーハを切削するプリカットを行い、このプリカットの結果をカーフを画像処理してチェックすることで検出し、この検出結果が良好であればウェーハのダイシングを遂行し、不良であれば再びプリカットを遂行することを特徴とする、カーフチェックに基づく自動ダイシングシステム。
引用特許：
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