特許

J-GLOBAL ID：200903010200474598

枚葉式熱処理方法および枚葉式熱処理装置

発明者： 佐久間 健
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-348573
公開番号（公開出願番号）：特開2002-155366
出願日： 2000年11月15日
公開日（公表日）： 2002年05月31日
要約：

【要約】【課題】 被処理体上のガス濃度を均一にして被処理体を面内均一に処理する。【解決手段】 減圧可能な処理室2内の載置板3上に被処理体wを載置して加熱し、この被処理体w上にシャワーヘッド27により処理ガスを供給すると共に、前記載置板3の裏面および/または被処理体wの側面にパージガスを流して被処理体wに所定の処理を施す枚葉式熱処理方法において、前記シャワーヘッド27を同心円状の複数の領域A,Bに分割し、パージガス等による被処理体w上のガス濃度低下を補うべく領域毎に異なる濃度または流量の処理ガスを供給する。

請求項（抜粋）：

減圧可能な処理室内の載置板上に被処理体を載置して加熱し、この被処理体上にシャワーヘッドにより処理ガスを供給すると共に、前記載置板の裏面および/または被処理体の側面にパージガスを流して被処理体に所定の処理を施す枚葉式熱処理方法において、前記シャワーヘッドを同心円状の複数の領域に分割し、パージガス等による被処理体上のガス濃度低下を補うべく領域毎に異なる濃度または流量の処理ガスを供給するようにしたことを特徴とする枚葉式熱処理方法。

IPC (3件)：

C23C 16/455 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/26

FI (3件)：

C23C 16/455 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/26 G

Fターム (23件)：

4K030AA02 ,  4K030AA06 ,  4K030AA16 ,  4K030BA20 ,  4K030BA29 ,  4K030BA48 ,  4K030CA04 ,  4K030EA05 ,  4K030FA10 ,  4K030KA08 ,  4K030KA45 ,  4K030LA15 ,  5F045AA06 ,  5F045AB30 ,  5F045BB02 ,  5F045DP03 ,  5F045EE01 ,  5F045EE12 ,  5F045EE20 ,  5F045EF05 ,  5F045EF07 ,  5F045EK13 ,  5F045EM07