特許
J-GLOBAL ID：200903010201253641
処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-165435
公開番号（公開出願番号）：特開平5-183041
出願日： 1992年06月01日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：
【要約】【目的】 各処理装置を単体で分離可能とすることによりメンテナンス作業を効率的に行えるようにする。【構成】 被処理体Wを処理するために発熱体などを内蔵する載置台70を筐体50に収容する。そして、この筐体50の上下端の4角部に係止板56、水平係合ピン58、これに嵌合する水平係合穴62、垂直係合ピ66、これに嵌合する垂直係合溝64よりなる係合部材54A〜54Dを設ける。これにより筐体50を水平方向へスライドさせることにより各処理装置を単体で分離結合自在とする。
請求項（抜粋）：
被処理体を載置して処理する載置台と、前記載置台を収容する筐体と、前記筐体を複数個着脱可能に積層可能とすべく前記筐体に設けられた係合部材とにより構成したことを特徴とする処理装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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