特許
J-GLOBAL ID：200903010203254548
ステージ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-156817
公開番号（公開出願番号）：特開平8-323568
出願日： 1995年05月31日
公開日（公表日）： 1996年12月10日
要約：
【要約】【目的】 ステージの後方向加速時の許容加速度を向上させる。【構成】 Yステージ14のV字ガイド近傍部分と対応するXステージ16の部分に磁石38をが設けられている。これによれば、(A)に示されるように、Yステージ14が後方向に加速度を受ける場合、図示の如く軸42aを中心にXステージ16を反時計回りに回転させようとする回転付勢力(図示省略)が生じ、Xステージ16が飛び上がろうとするが、回転軸42aと磁石38との距離L1を腕の長さとする磁石38の磁力による時計回りのモーメントM1 がXステージ16の飛び上がりを抑制する抑制力として働く。このため、結果的にYステージ16の許容加速度をより大きくすることができる。
請求項（抜粋）：
所定の第1方向に移動可能な第1ステージと、当該第1ステージ上を前記第1方向に直交する第2方向に移動可能な第2ステージとを備え、前記第2ステージが前記第1ステージ上に所定間隔で前記第2方向に延設されたフラットガイドとV字ガイドとに沿って移動する構造のステージ装置において、前記第1ステージの移動方向に応じてその位置が定まる前記第2方向の所定の軸回りの前記第2ステージの回転付勢力を抑制する抑制手段が、前記両ステージ相互間に設けられていることを特徴とするステージ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B23Q 1/18 A
, H01L 21/68 K
