特許
J-GLOBAL ID：200903010217644322

圧電素子及び液体吐出装置

発明者：
藤井 隆満

藤井 隆満 について

, 
三田 剛

三田 剛 について

, 
菱沼 慶一

菱沼 慶一 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (2件)： 柳田 征史 ,  佐久間 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-162975
公開番号（公開出願番号）：特開2009-054994
出願日： 2008年06月23日
公開日（公表日）： 2009年03月12日
要約：
【課題】圧電体膜を備えた圧電素子において、圧電性能及び動作安定性を高める。【解決手段】圧電素子1は、基板11上に、第1の電極21と、第1の圧電体膜13と、第2の圧電体膜14と、第2の電極23とを順次有し、第1の圧電体膜13と第2の圧電体膜14との間に中間電極22を備える。第1の圧電体膜13及び第2の圧電体膜14の膜厚は10μm以下であり、第1の圧電体膜13及び第2の圧電体膜14の、基板11と反対側の表面及び/又は基板11側の表面の表面粗さRaは0.5μm以下である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上に、第1の電極と、第1の圧電体膜と、第2の圧電体膜と、第2の電極とを順次有し、前記第1の圧電体膜と前記第2の圧電体膜との間に中間電極を備えてなる圧電素子であって、 前記第1の圧電体膜及び前記第2の圧電体膜の膜厚が10μm以下であり、 該第1の圧電体膜及び該第2の圧電体膜の、前記基板と反対側の表面及び/又は前記基板側の表面の表面粗さRaが0.5μm以下であることを特徴とする圧電素子。
IPC (6件)：
H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055
FI (8件)：
H01L41/08 M ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z ,  B41J3/04 103A
Fターム (6件)：
2C057AF54 ,  2C057AF65 ,  2C057AG44 ,  2C057AG47 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (4件)
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