特許
J-GLOBAL ID：200903010220586279
処理液供給装置およびそれを用いた液処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-148477
公開番号（公開出願番号）：特開平10-326736
出願日： 1997年05月23日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：
【要約】【課題】 ノズル先端における処理液の温度調節精度を向上することができる処理液供給装置およびそれを用いた液処理装置を提供することを目的とする。【解決手段】 処理液を通流する処理液管路45,48、処理液管路45,48の処理液吐出側に装着されたノズルブロック42、並びにノズルブロック42から先端が露出するようにして処理液管路の処理液吐出側の端部に取り付けられたノズルチップ43,44を有する処理液供給装置において、ノズルチップ43,44は、少なくとも処理液と接触する通路部分に設けられた樹脂製部材43b,44bと、樹脂製部材43b,44bの通路部分の周囲に設けられた高熱伝導性部材43a,44aとから構成されている。
請求項（抜粋）：
処理液の供給を行う処理液供給装置であって、処理液を通流する処理液管路と、前記処理液管路の処理液吐出側に装着されたノズルブロックと、前記ノズルブロックから先端が露出するようにして前記処理液管路の処理液吐出側の端部に取り付けられたノズルチップと、を具備し、前記ノズルチップは、少なくとも処理液と接触する通路部分に配置された樹脂製部材と、前記樹脂製部材の通路部分の周囲に設けられた高熱伝導性部材とから構成されていることを特徴とする処理液供給装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, B05B 1/14
, G03F 7/16 502
, G03F 7/30 501
H01L 21/30 564 C
, B05B 1/14
, G03F 7/16 502
, G03F 7/30 501
, H01L 21/30 569 C
