露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：則近憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-084408
公開番号（公開出願番号）：特開平5-291114
出願日： 1992年04月07日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】本発明の露光装置は、揺動ミラー8の揺動角及び露光チャンバ部5内の気体濃度及び電子蓄積リング2の電流値の諸データをリアルタイムで検出するとともに、これの諸データと、あらかじめ設定されている揺動ミラー8の揺動角速度算出式に基づき最適な揺動ミラーの揺動角速度を決定し、この揺動角速度で揺動ミラー8をリアルタイムで可変的に駆動するようにしたものである。【効果】上記構成を有する露光装置は、<イ>露光チャンバ部内の気体濃度の変化、<ロ>電子蓄積リングの電流値の経時変化、<ハ>揺動ミラーへのSOR光の斜入射角による反射率の変化、<ニ>揺動ミラーへのSOR光の斜入射角によるビームスポットサイズの変化、による露光量の変動を補償して、照射パワー密度が一定になるように均一に露光することができるようになる。

請求項（抜粋）：

下記構成を具備することを特徴とする露光装置。(イ)SOR光を発生する電子蓄積リング。(ロ)上記電子蓄積リングから放射されたSOR光を超高真空中にて垂直方向に走査する揺動ミラーを有するビームライン部。(ハ)内部に気体が充填され且つ被露光体を収納してこの被露光体に上記ビームライン部から導入されたSOR光を照射させる露光チャンバ部。(ニ)上記揺動ミラーの揺動角を検出する揺動角検出手段と、上記露光チャンバ部内の気体濃度を検出する気体濃度検出手段と、上記電子蓄積リングの電流値をリアルタイムで検出する電流値検出手段と、上記揺動角に対する上記SOR光の上記揺動ミラーにおける反射率との関係を示す第1パターンテーブルが格納されている第1パターンテーブルメモリと、上記揺動角に対する上記被露光体における上記SOR光のビームスポット面積を示す第2パターンテーブルが格納されている第2パターンテーブルメモリと、上記気体濃度に対する上記SOR光の強度変化を示す第3パターンテーブルが格納されている第3パターンテーブルメモリと、上記揺動角検出手段により検出された揺動角及び上記気体濃度検出手段により検出された気体濃度及び上記電流値検出手段により検出された電流値及び第1パターンテーブルメモリに格納されている第1パターンテーブル及び上記第2パターンテーブルメモリに格納されている第2パターンテーブルメモリ及び上記第3パターンテーブルに格納されている第3パターンテーブルに基づいて最適な揺動角速度を決定しこの決定した揺動角速度で上記揺動ミラーをリアルタイムで可変的に駆動する走査制御部。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 503 , G03F 7/20 521

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