特許

J-GLOBAL ID：200903010223657037

セラミック抵抗体およびそれを用いた静電チャック

発明者： 会田 比呂史 ,  伊東 裕見子 ,  三上 一彦
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-084597
公開番号（公開出願番号）：特開平11-278942
出願日： 1998年03月30日
公開日（公表日）： 1999年10月12日
要約：

【要約】【課題】幅広い温度範囲で107 〜1012Ω・cmの抵抗を具備するセラミック抵抗体と、簡易な構造を有しながらも幅広い温度範囲で優れた吸着特性を有する静電チャックを提供する。【解決手段】セラミック基体2の内部に静電吸着用の電極層4を具備し、そのセラミック基体2の静電吸着面3が窒化アルミニウムを主体とするセラミックスからなる静電チャックにおいて、セラミックスがCeを酸化物(CeO2 )換算で5〜20容量%の割合で含むとともに、X線回折測定において面間隔が(a)2.8±0.1Åおよび(b)2.7±0.1Åの位置にそれぞれピークが存在し、各ピークの強度比(a)/(b)が0.05〜1.2を満足し、且つ50°Cにおける体積固有抵抗が107 〜1012Ω・cmであることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウムを主体とし、Ceを酸化物(CeO2 )換算で5〜20容量%の割合で含むとともに、X線回折チャートにおいて面間隔が(a)2.8±0.1Åおよび(b)2.7±0.1Åの位置にそれぞれピークを有し、該ピークの強度比(a)/(b)が0.05〜1.2を満足し、且つ50°Cにおける体積固有抵抗が107 〜1012Ω・cmであることを特徴とするセラミック抵抗体。

IPC (4件)：

C04B 35/581 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/68 ,  H02N 13/00

FI (4件)：

C04B 35/58 104 B ,  B23Q 3/15 D ,  H01L 21/68 R ,  H02N 13/00 D

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭63-215569
  
• 特開昭62-017074
  
• 特開昭61-286266
  

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-215569
  
• 特開昭62-017074
  
• 特開昭61-286266