特許
J-GLOBAL ID：200903010225396923
単結晶引き上げ用黒鉛ルツボ及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-071576
公開番号（公開出願番号）：特開平5-270971
出願日： 1992年03月27日
公開日（公表日）： 1993年10月19日
要約：
【要約】【構成】 黒鉛ルツボ15下部における平均気孔径が、黒鉛ルツボ15上部における平均気孔径より小さい黒鉛ルツボ。【効果】 黒鉛ルツボ15の表面におけるSiC化の不均一、およびSi付着の不均一を解消し、熱応力、歪の発生を抑制することができ、黒鉛ルツボの割損を防ぐことができる。
請求項（抜粋）：
黒鉛ルツボ下部における平均気孔径が、その黒鉛ルツボ上部における平均気孔径より小さいことを特徴とする単結晶引き上げ用黒鉛ルツボ。
IPC (2件)：
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