特許
J-GLOBAL ID：200903010226525417
赤外線センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中尾 俊輔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-245400
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074558
出願日： 1999年08月31日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：
【要約】【課題】 良好な機械的強度を有し、しかも、良好な感度を有する赤外線センサを提供すること。【解決手段】 基板1の表面1Aに少なくとも1つの凹部10を基板1の一端部から他端部にかけてそれぞれの長手方向が位置するように形成し、各薄膜熱電対5を構成する熱電性薄膜6A,6Bがいずれかの凹部10を横断するように配置し薄膜熱電堆4を構成する薄膜熱電対5の熱電性薄膜6A,6Bはいずれかの凹部10と数多くの部位において交差し、この全ての交差する部位を温接点8とすることができるようにしたもの。
請求項（抜粋）：
複数の薄膜熱電対を基板上に直列配置してなる薄膜熱電堆を設け、各薄膜熱電対の温接点を前記基板から離間した部位にそれぞれ位置させるとともに、各薄膜熱電対の冷接点を前記基板上にそれぞれ位置させるようにした赤外線センサであって、前記基板の表面に少なくとも1つの凹部を前記基板の一端部から他端部にかけてそれぞれの長手方向が位置するように形成し、前記各薄膜熱電対を構成する熱電性薄膜がいずれかの凹部を横断するように配置したことを特徴とする赤外線センサ。
Fターム (2件)：
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