特許
J-GLOBAL ID：200903010226564340
三次元形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-085808
公開番号（公開出願番号）：特開平5-288525
出願日： 1992年04月08日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：
【要約】【目的】 被測定物体の三次元形状の測定を高精度かつリアルタイムに行えるようにする。【構成】 レーザビームを発生する半導体レーザ1、この半導体レーザ1からのレーザビームに対し一次元の走査を行うポリゴンミラー3、このポリゴンミラー3の出射光を所定位置に合焦させるリレーレンズ6,7、これらリレーレンズの焦点位置に配設されて二次元の走査を行う回転平面ミラー8、このミラーの出射光を物体15の表面に照射するリレーレンズ11,12及び投光レンズ13、物体15の表面からの反射光を回転平面ミラー8の鏡面に導く集光レンズ18、フィールドレンズ19,20、フィールドレンズ20の焦点位置でかつ回転平面ミラー8の反射光路上に配設される位置検出素子21の各々を備えて構成する。
請求項（抜粋）：
レーザビームを発生するレーザ光源と、該レーザ光源からのレーザビームに対し一次元の走査を行う第1の回転鏡と、該回転鏡の出射光を所定位置に合焦させる第1の光学系と、該第1の光学系の焦点位置に配設されて二次元の走査を行う第2の回転鏡と、該回転鏡の出射光を被測定物体の表面に照射する第2の光学系と、前記被測定物体の表面からの反射光を前記第2の回転鏡の鏡面に導く第3の光学系と、該第3の光学系の焦点位置でかつ前記第2の回転鏡の反射光路上に配設される位置検出素子とを具備することを特徴とする三次元形状測定装置。
IPC (2件)：
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