特許
J-GLOBAL ID：200903010229109872
液晶基板の検査方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-354332
公開番号（公開出願番号）：特開平7-199139
出願日： 1993年12月31日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：
【要約】【目的】 信頼性の高い液晶基板の検査方法及びその装置を提供すること。【構成】 載置台2は移動基体21に対してZ、θ方向に移動可能に構成され、移動基体21がX基台41及びY基台51により夫々X、Y方向に移動できるようになっている。一方プロービング基板6は固定台に固定され、プロービング針62と載置台2上の液晶基板3の電極パッド31との接触は、載置台2のみを移動させて行われる。X基台41とY基台51との間、及びX基台41と移動基体21との間のケーブルとして、フレキシブルな絶縁性帯状体に印刷配線を施してなるFPCケーブル44、54が用いられる。液晶基板3あるいは液晶基板3を含むガラス基板30には少なくとも2個のマーク32A、32Bが付され、1個のTVカメラでこのマーク32A、32Bを順次観察して液晶基板3のθ角を検出する。
請求項（抜粋）：
液晶基板の電極パッドにプロービング基板のプロービング接触手段を接触させ、テスタからプロービング接触手段を介して液晶基板に検査用の信号を与えて、液晶基板を検査する方法において、液晶基板を、X方向、Y方向、Z方向及びZ軸のまわりの周方向に移動自在な載置台上に載置し、前記プロービング接触手段に対する載置台の位置合わせ工程、及び液晶基板とプロービング接触手段との接触工程を、前記プロービング基板の位置を固定しておくと共に前記載置台を移動させて行うことを特徴とする液晶基板の検査方法。
IPC (2件)：
G02F 1/13 101
, G02F 1/136 500
