特許

J-GLOBAL ID：200903010232493004

単結晶製造用ルツボおよびそのルツボを組み込んだ単結晶引上装置

発明者： 鈴木 計弥 ,  松尾 博臣
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-156612
公開番号（公開出願番号）：特開平7-010686
出願日： 1993年06月28日
公開日（公表日）： 1995年01月13日
要約：

【要約】【目的】 単結晶製造用ルツボにおける黒鉛ルツボのガスによる浸食抑止。【構成】 ルツボ1は、石英ルツボ11と、前記石英ルツボを収容支持する複数のブロックによって形成される黒鉛ルツボ2とからなる。黒鉛ルツボ2は、たとえば底中央部分を形成する底板3と、円周壁を形成する3個のルツボ本体4とからなる。黒鉛ルツボ2は底部内周壁に全周に亘って設けられた嵌合溝50に黒鉛からなる嵌合体51が着脱自在に嵌め込まれている。嵌合体51によってルツボ本体4間のスリット13は表面に露出しなくなり、石英ルツボ11から蒸発したSiOガスが含まれるガスが通過するスリット13には、石英ルツボ11が食い込まなくなり、黒鉛ルツボ2の局所的な高温化が防げ、浸食が発生し難くなる。なお、浸食が発生した場合、嵌合体51を交換する。

請求項（抜粋）：

石英ルツボと、前記石英ルツボを収容支持するとともに台座に載置されかつ複数のブロックによって形成される黒鉛ルツボとからなる単結晶製造用ルツボであって、前記黒鉛ルツボの底部内周壁に全周または前記ブロックの境目に対応する部分に嵌合溝が設けられているとともに、この嵌合溝には黒鉛からなる嵌込体が交換可能に嵌合されていることを特徴とする単結晶製造用ルツボ。