特許
J-GLOBAL ID：200903010250826410
可変焦点凹面鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 求馬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-349520
公開番号（公開出願番号）：特開平5-157903
出願日： 1991年12月06日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：
【要約】【目的】 収差の充分小さな可変焦点凹面鏡を提供する。【構成】 外周枠部12がガラス基板の壁部に接合固定された単結晶シリコンの薄板1は内周部11を、鏡面処理した上面11aが平面で、下面11bが中心に向け漸次厚肉となる曲面に形成してある。間隔をおいて下方に設けた電極膜との間に電圧を印加すると静電引力により内周部11は下方へ吸引湾曲せしめられ、内周部上面11aは印加電圧に応じて深くなる凹状放物面に変形せしめられる。しかして、内周部上面11aに入射する平行光線は充分小さな収差でその焦点上に集束される。
請求項（抜粋）：
外周縁が固定された導体ないし半導体の薄板の背後に間隔をおいて電極板を設け、これら薄板と電極板間に電圧を印加して静電引力により上記薄板の内周部を電極板方向へ吸引湾曲せしめて、印加電圧に応じて深い凹面となる薄板内周部の前面を焦点距離可変の凹面鏡となし、かつ、電圧非印加時における上記薄板内周部を、前面が平面で、後面が中心に向け漸次厚肉となる曲面に形成して、電圧印加時の上記内周部前面を凹状放物面に変形せしめたことを特徴とする可変焦点凹面鏡。
IPC (3件)：
G02B 5/10
, G02B 1/02
, G02B 17/00
