特許
J-GLOBAL ID：200903010251357596

ターボ分子ポンプ

発明者：
久保 雅英

久保 雅英 について

, 
石垣 健

石垣 健 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-306908
公開番号（公開出願番号）：特開2002-115691
出願日： 2000年10月06日
公開日（公表日）： 2002年04月19日
要約：
【要約】【課題】 回転体2が破損しても、その衝撃が外方ケーシングに直接的に伝わらないターボ分子ポンプを提供する。【解決手段】 複数のターボ機構における少なくとも一段のターボ機構における固定翼1Bにおいて、その動径方向に少なくとも1個のリブ1Lを設置する。したがって、回転体2が破損し、その破断片が外方へ飛び衝突してもリブ1Lがそれを受け止め、衝撃がケーシング1へ直接的に伝わるのは阻止される。
請求項（抜粋）：
ケーシングの内周に設置された固定翼と回転翼との組み合わせからなるターボ機構を複数段有するとともに、前記回転翼が付設された回転体と一体の回転軸が前記ケーシングと一体の固定部に対し軸受を介して回転自在に支持され、かつモータによって回転駆動されることにより、ケーシングの吸気口からの分子を排気口に排気するターボ分子ポンプにおいて、前記固定翼には少なくとも一段でかつ動径方向に少なくとも1個のリブが設けられていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
IPC (2件)：
F04D 19/04 ,  F04D 29/44
FI (3件)：
F04D 19/04 C ,  F04D 19/04 H ,  F04D 29/44 W
Fターム (9件)：
3H031DA02 ,  3H031EA09 ,  3H031FA02 ,  3H034AA02 ,  3H034BB01 ,  3H034BB08 ,  3H034CC03 ,  3H034DD12 ,  3H034EE17
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 高性能ターボ・モルキュラー真空ポンプ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-128251   出願人：バリアン・アソシエイツ・インコーポレイテッド
  • ターボ分子ポンプ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-196538   出願人：株式会社荏原製作所
  • 分子ポンプ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-025972   出願人：株式会社大阪真空機器製作所
審査官引用 (3件)
  • 高性能ターボ・モルキュラー真空ポンプ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-128251   出願人：バリアン・アソシエイツ・インコーポレイテッド
  • ターボ分子ポンプ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-196538   出願人：株式会社荏原製作所
  • 分子ポンプ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-025972   出願人：株式会社大阪真空機器製作所

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