特許

J-GLOBAL ID：200903010254786161

無機粉体を感光性ペーストへ再利用する方法

発明者： 森 哲 ,  横島 実
出願人/特許権者： 日本化薬株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-323714
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131927
出願日： 2000年10月24日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：

【要約】【課題】感光性ペーストを使用した後の現像廃液中から無機粉体を回収し、再度、感光性ペーストに再利用し、感光性ペーストのコストダウンを図る。【解決手段】本発明の無機粉体の回収方法を用いると、現像廃液中から回収した無機粉体を使用しても、現像性に優れ、現像後のパターン精度が良好で、焼成後の有機物の残存が少なく、密着性に優れる感光性ペーストを提供することができる。

請求項（抜粋）：

感光性樹脂組成物(A)及び無機粉体(B)を含有する感光性ペースト(C)を使用した後の現像廃液中から無機粉体を回収し、感光性ペーストに再利用する方法。

IPC (8件)：

G03F 7/26 ,  B09B 5/00 ZAB ,  C08G 59/16 ,  C08J 5/18 CFC ,  C08K 3/00 ,  C08L 63/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027 515

FI (8件)：

G03F 7/26 ,  C08G 59/16 ,  C08J 5/18 CFC ,  C08K 3/00 ,  C08L 63/00 C ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027 515 ,  B09B 5/00 ZAB Z

Fターム (50件)：

2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC74 ,  2H025BC83 ,  2H025BC85 ,  2H025CA00 ,  2H025CC08 ,  2H025CC15 ,  2H025CC20 ,  2H025FA28 ,  2H025FA29 ,  2H096AA30 ,  2H096BA05 ,  2H096BA06 ,  2H096LA25 ,  2H096LA30 ,  4D004AA16 ,  4D004AB01 ,  4D004AB05 ,  4D004BA06 ,  4D004CA42 ,  4D004CA50 ,  4F071AA42 ,  4F071AB07 ,  4F071AB28 ,  4F071AE17 ,  4F071AH12 ,  4F071BC01 ,  4J002CD201 ,  4J002DA076 ,  4J002DE096 ,  4J002DG026 ,  4J002DL006 ,  4J002FD016 ,  4J002GP03 ,  4J036AA01 ,  4J036CA20 ,  4J036CA21 ,  4J036FA01 ,  4J036FA10 ,  4J036FB03 ,  4J036FB10 ,  4J036FB11 ,  4J036FB12 ,  4J036FB18 ,  4J036HA02 ,  4J036JA09