光磁気ディスク製造装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：薬師稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-143696
公開番号（公開出願番号）：特開平5-311441
出願日： 1992年05月11日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：

【要約】【目的】光磁気ディスクの製造にあたり、その製造工程で人手をかけることなく、自動的に組立・移送するための装置であって、ディスクの生産性の向上と不良率の低下を図ったものである。【構成】トレイキャリアコンベア2、トレイキャリア反転機構3、トレイキャリア水平回転機構4、ディスク脱着ロボットA、内外マスク8,9の脱着ロボットB、ディスク移載移送ステーション10,11,12,13を備え、自動的にディスクのスパッタリングおよびディスクの脱着・移送を行う。

請求項（抜粋）：

トレイキャリアコンベア、トレイキャリア水平回転機構、未スパッタディスク移載および供給ステーション、スパッタ済ディスク移載および受取ステーション、フロロウェアコンベアを備え、前記トレイキャリア水平回転機構に載置されたトレイキャリアに対して、ディスクを着脱するロボットと、ディスクを予め固定している内外マスクを着脱するロボットを設けたことを特徴とする光磁気ディスク製造装置。

IPC (4件)：

C23C 14/56 , H01L 21/68 , G11B 11/10 , H01L 21/203

引用特許：

審査官引用 (16件)

特開平4-136168
特開昭61-284042
特開昭61-133546

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