ダイヤモンドライクカーボン薄膜及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：村井卓雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-057085
公開番号（公開出願番号）：特開2000-256850
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 2000年09月19日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】炭化水素を原料としてプラズマCVD法により形成されたDLC膜は摩擦特性は良好であるが、特にステンレス材のような基板では厚いDLC膜を直接形成できないために、基材とDLC薄膜の間には中間層を形成する。中間層とその上に形成されるDLC膜との密着性が不充分であると、形成された膜がすぐに剥離するので、基材との密着性が高いDLC膜を提供する。【解決手段】母材に中間層を介して形成されたダイヤモンドライクカーボン層を含んでなるダイヤモンドライクカーボン薄膜において、中間層とダイヤモンドライクカーボン層の間に、中間層の成分と炭素からなる混合成分層を設け、混合成分層がダイヤモンドライクカーボン層と接する位置では該混合成分層は実質的に炭素からなり、また中間層と接する位置では該混合成分層は実質的に中間層の成分からなるとともに、この混合成分層の組成を層厚さ方向で段階的又は連続的に変化させる。

請求項（抜粋）：

母材に中間層を介して形成されたダイヤモンドライクカーボン層を含んでなるダイヤモンドライクカーボン薄膜において、前記中間層と前記ダイヤモンドライクカーボン層の間に、該中間層の成分と炭素からなる混合成分層を設け、該混合成分層がダイヤモンドライクカーボン層と接する位置では該混合成分層は実質的に炭素からなり、また中間層と接する位置では該混合成分層は実質的に中間層の成分からなるとともに、この混合成分層の組成を層厚さ方向で段階的又は連続的に変化させたことを特徴とするダイヤモンドライクカーボン薄膜。

IPC (2件)：

C23C 16/27 , C30B 29/04

FI (2件)：

C23C 16/26 A , C30B 29/04 J

Fターム (32件)：

4G077AA03 , 4G077BA03 , 4G077DA11 , 4G077DA12 , 4G077DB18 , 4G077DB19 , 4G077DB20 , 4G077HA13 , 4G077TA04 , 4G077TA08 , 4K030AA09 , 4K030AA10 , 4K030AA14 , 4K030BA02 , 4K030BA06 , 4K030BA18 , 4K030BA20 , 4K030BA26 , 4K030BA28 , 4K030BA29 , 4K030BA36 , 4K030BA37 , 4K030BB12 , 4K030CA02 , 4K030DA03 , 4K030FA01 , 4K030FA02 , 4K030HA02 , 4K030HA04 , 4K030JA06 , 4K030LA20 , 4K030LA23

引用特許：

審査官引用 (2件)

摺動部材、圧縮機及び回転圧縮機
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-174276 出願人：三洋電機株式会社
特開昭63-286334

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