特許
J-GLOBAL ID：200903010264527938
微動装置及び走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高崎 芳紘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-217366
公開番号（公開出願番号）：特開平7-071913
出願日： 1993年09月01日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：
【要約】【目的】 走査型プローブ顕微鏡の探針微動機構に好適な微動装置に関し、微動座標を正確に検出できる装置の提供を目的とする。【構成】 中空円筒の上端面が固定され、外力によって下端面が微動する装置の下端面に、円筒のX軸又はY軸方向にそれぞれ垂直の受光面を有する少なくとも合計3ケの受光素子をX、Yの各軸方向に最低1ケ配置する如くして固定した受光装置を付設し、また前記受光素子の受光面にそれぞれ垂直方向から入射する集束ビーム光の放射源を前記円筒の近傍に固設して成り、前記外力の作用によって前記受光素子の前記集束ビーム光受光位置の変化を検出して前記微動による前記下端面の座標値を測定記憶する。
請求項（抜粋）：
中空円筒形状を有し、該円筒軸(Z軸)に垂直な一端面が固定され、該円筒に作用する外力によってZ軸に垂直な他端面が並進及び回転の微少運動を行う微動装置において、前記他端面に固設された、前記円筒のX軸又はY軸方向にそれぞれ垂直の受光面を有する少なくとも合計3ケの受光器を持つ受光装置と、該受光装置の近傍に独立して設けられ、前記受光素子の受光面にそれぞれ垂直方向から集束ビーム光を入射させる光学系と、前記外力の作用によって前記受光素子の前記集束ビーム光受光位置の変化をそれぞれ検出して前記微少運動による前記他端面の座標値を算出する手段と、より成る微動装置。
IPC (2件)：
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