特許
J-GLOBAL ID：200903010269974177

フォトレジストフィルム

発明者：
村上 滋

村上 滋 について

, 
濱田 康浩

濱田 康浩 について

, 
日向 淳悦

日向 淳悦 について


出願人/特許権者：
ニチゴー・モートン株式会社

ニチゴー・モートン株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-104362
公開番号（公開出願番号）：特開2005-292289
出願日： 2004年03月31日
公開日（公表日）： 2005年10月20日
要約：
【課題】 高感度、高解像度であり、かつ、黄色安全灯での保存安定性にも優れ、特には青紫色レーザーを光源とする露光機で露光するのに適したフォトレジストフィルムを提供すること。【解決手段】 カルボキシル基含有ポリマー(A)、エチレン性不飽和化合物(B)、吸収主波長が390nm以下である光重合開始剤(C)を含有する感光性樹脂組成物からなる層[I]と支持フィルム[II]を積層してなるフォトレジストフィルムであって、該感光性樹脂組成物からなる層[I]の硬化前の波長405nmの光線における光透過率が15〜50%であるフォトレジストフィルム。
請求項（抜粋）：
カルボキシル基含有ポリマー(A)、エチレン性不飽和化合物(B)、吸収主波長が390nm以下である光重合開始剤(C)を含有する感光性樹脂組成物からなる層[I]と支持フィルム[II]を積層してなるフォトレジストフィルムであって、該感光性樹脂組成物からなる層[I]の硬化前の波長405nmの光線における光透過率が15〜50%であることを特徴とするフォトレジストフィルム。
IPC (5件)：
G03F7/004 ,  G03F7/028 ,  G03F7/032 ,  G03F7/26 ,  H05K3/06
FI (6件)：
G03F7/004 512 ,  G03F7/004 507 ,  G03F7/028 ,  G03F7/032 ,  G03F7/26 501 ,  H05K3/06 J
Fターム (38件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB11 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC51 ,  2H025CA01 ,  2H025CA03 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CA44 ,  2H025CB14 ,  2H025CB43 ,  2H025CC15 ,  2H025DA01 ,  2H025DA19 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H096AA26 ,  2H096BA05 ,  2H096BA20 ,  2H096EA04 ,  2H096GA08 ,  2H096LA17 ,  5E339BC02 ,  5E339BD11 ,  5E339BE13 ,  5E339CC01 ,  5E339CC02 ,  5E339CD01 ,  5E339CE11 ,  5E339CE14 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339CG04 ,  5E339DD04
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (5件)
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