特許
J-GLOBAL ID：200903010270300694
石英系光導波路作成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
倉持 裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-247457
公開番号（公開出願番号）：特開平5-088034
出願日： 1991年09月26日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【目的】 大幅なコストダウンがはかれ、即ち、原料面でも、製造装置の面でも、製造技術の面でも、簡単化でき、コストダウンが大きい石英系光導波路作成方法を提供することを目的とする【構成】石英系ガラス光導波路の作成方法において、ゾルゲル法でガラスゲル粉末を作成し、そのガラスゲル粉末を原料に用いて、基板上にコ-ティング層を形成し、その後、その形成されたガラスゲルコ-ティング層を熱処理し、多孔質ガラス薄膜とし、更に、熱処理し、透明ガラス化し、石英系光導波路とすることを特徴とする前記石英系光導波路作成方法である。
請求項（抜粋）：
石英系ガラス光導波路の作成方法において、ゾルゲル法でガラスゲル粉末を作成し、そのガラスゲル粉末を原料に用いて、基板上にコ-ティング層を形成し、その後、その形成されたガラスゲルコ-ティング層を熱処理し、多孔質ガラス薄膜とし、更に、熱処理し、透明ガラス化し、石英系光導波路とすることを特徴とする前記石英系光導波路作成方法。
IPC (4件)：
G02B 6/12
, C03B 8/02
, C03B 20/00
, C03C 13/04
