特許
J-GLOBAL ID：200903010274318792
ウェーハ位置検出方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-163103
公開番号（公開出願番号）：特開平6-345207
出願日： 1993年06月07日
公開日（公表日）： 1994年12月20日
要約：
【要約】【目的】ウェーハ移載機に於けるウェーハとウェーハツイーザ間のずれを監視し、ウェーハのずれに起因するボートやウェーハツイーザの破損を未然に防止する。【構成】ウェーハ移載機に設けた光センサ13,14,16,17により、ウェーハ移載機の所要の動作軸の動作完了後ウェーハの位置ずれを検出し、位置ずれの検出は、対峙する光センサの光軸18,19間距離がウェーハ直径より位置ずれ許容範囲だけ大きい様に複数の光センサを設け、該光センサの受光状態で判断する。
請求項（抜粋）：
ウェーハ移載機に設けた光センサにより、ウェーハ移載機の所要の動作軸の動作完了後ウェーハの位置ずれを検出することを特徴とするウェーハ位置検出方法。
IPC (5件)：
B65G 1/00 545
, B65G 49/07
, G01B 9/00
, G01B 11/00
, H01L 21/68
