特許
J-GLOBAL ID：200903010276110099
半導体装置製造用ストッカのトランスファ移送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-019062
公開番号（公開出願番号）：特開平9-110112
出願日： 1996年02月05日
公開日（公表日）： 1997年04月28日
要約：
【要約】【課題】 半導体ウェーハを収容するストッカ内でトランスファをX軸及びY軸方向に正確に移送可能なトランスファ移送装置を提供する。【解決手段】 トランスファ11をX軸方向に移送させるためのX軸駆動手段と、X軸駆動手段が設けられたベース12と、ベースをY軸方向に移送させるY軸駆動手段とを備え、X軸駆動手段は、トランスファを固定する固定板13と、固定板の下部に設けられた複数のローラ14〜16と、ベース上に設けられローラをX軸方向に案内するガイドレール17と、ローラのいずれか一つを駆動するモータ18とを含み、Y軸駆動手段は、ベースをY軸方向に案内する複数のガイドポスト21と、複数のスプロケット25〜27に案内され、その一端がベースに固定され、その他端がウエイト29に固定された一対のチェーン28と、スプロケットのいずれか一つを駆動する駆動モータ24とを含む。
請求項（抜粋）：
ストッカ内で半導体ウェーハが積載されたカセットを運搬するトランスファをX軸及びY軸方向に移送する半導体装置製造用ストッカのトランスファ移送装置において、前記トランスファをX軸方向に移送させるためのX軸駆動手段と、前記X軸駆動手段が設けられたベースと、前記ベースをY軸方向に移送させるY軸駆動手段と、を備えることを特徴とするトランスファ移送装置。
IPC (2件)：
B65G 1/04 503
, H01L 21/68
B65G 1/04 503
, H01L 21/68 A
