特許

J-GLOBAL ID：200903010303049119

プラズマイオン源質量分析装置

発明者： 中川 良知
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-120627
公開番号（公開出願番号）：特開平9-306418
出願日： 1996年05月15日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【目的】 集束レンズ、偏向器、マスフィルターに汚れである絶縁被膜の形成を防止し、メンテナンスを容易にする。真空容器内を高真空に保持した状態で引き出し電極をとり外して容易に洗浄することが可能にする。【解決手段】 引き出し電極の中腹に絞りを設置して、スキマーコーンが見込む引き出し電極の立体角をイオンレンズの入り口開口部の立体角よりも小さくし、中性粒子な含むビームが集束レンズ、偏向器、マスフィルター等に照射しないようにする。

請求項（抜粋）：

試料をプラズマ中でイオン化するプラズマイオン源と、生成したイオンを真空容器内に導く先端に穴の開いたサンプリングコーンおよびスキマーコーンと、前記真空容器内に設置され前記イオンをマスフィルターに導くイオンレンズと、前記スキマーコーンと前記イオンレンズの間に設置されて前記スキマーコーンを通過した前記イオンを前記イオンレンズに導く引き出し電極と、前記引き出し電極と前記イオンレンズの間に設置されたゲートバルブと、前記真空容器内に設置され前記イオンを質量分離するマスフィルターと、前記真空容器内に設置され前記マスフィルターを通過したイオンを検出する検出器を備えたプラズマイオン源質量分析装置において、前記引き出し電極の中腹に絞りを設置して、前記スキマーコーンが見込む前記引き出し電極の立体角を前記イオンレンズの入り口開口部の立体角よりも小さくしとことを特徴とするプラズマイオン源質量分析装置。

IPC (4件)：

H01J 49/04 ,  G01N 27/62 ,  H01J 49/12 ,  H01J 49/42

FI (4件)：

H01J 49/04 ,  G01N 27/62 G ,  H01J 49/12 ,  H01J 49/42