特許
J-GLOBAL ID：200903010303361660
エキシマレ-ザに関する波長システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-064957
公開番号（公開出願番号）：特開平11-298084
出願日： 1999年03月11日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：
【要約】【課題】 エキシマレーザに関する波長システムを提供する。【解決手段】 本発明は、狭バンドレーザの波長を測定し、制御するための波長システムを提供する。該システムは、波長の増分変化を測定するためのウェーブメータと、ウェーブメータを較正するための原子波長リファレンスとを含む。原子波長リファレンスは、所望の作動波長付近に少なくとも1つの吸収線を有する蒸気を提供するための気層セルを含む。該システムは、ウェーブメータを較正するための吸収線の波長で作動するために、レーザを調整するのに十分なチューニング範囲を備える波長チューニングデバイスを包含する。好ましい実施形態では、レーザはArFレーザであり、蒸気は白金であり、吸収線は193,224.3pmか193,436.9pmのいずれかである。従来技術のデバイスを超える改良は、エラストマを使用せずにエタロンに関する低圧力3点支持を提供するための支持フランジを有する改良されたエタロンを含む。
請求項（抜粋）：
狭帯域レーザによって作り出されたレーザビームの波長を測定し且つ制御するための波長システムであって、A.波長の増分変化を測定するためのウェーブメータと、B.前記ウェーブメータを較正するための原子波長リファレンスとを有し、前記リファレンスは、1)前記レーザに関する所望の作動波長付近の吸収線を有する蒸気を包含するための気層セルと、2)前記気層セルを通過する光の強度を測定するための較正光検出器と、を備え、C.前記吸収線を包含する波長の範囲に前記レーザを調整するのに十分なチューニング範囲を有するチューニングデバイスと、D.(i)前記ウェーブメータに、そして(ii)前記較正光検出器に前記気層セルを介して、前記狭バンドレーザビームの部分を同時に差し向けるように配置された光学縦列と、E.波長の前記範囲を超えて前記較正光検出器及び前記ウェーブメータからのデータを補正し、解析し、かかる解析に基づいて、前記ウェーブメータを較正するプロセッサと、を有する、前記波長システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/137
, H01S 3/223 E
