特許
J-GLOBAL ID:200903010314747551
有機エレクトロルミネッセンス素子の製造装置及び製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
佐藤 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-370403
公開番号(公開出願番号):特開2003-173870
出願日: 2001年12月04日
公開日(公表日): 2003年06月20日
要約:
【要約】【課題】 フレキシブルな基板上に、効率よく連続的に所定パターンの有機発光層を形成する。【解決手段】 パターニング部22にて走行する帯状の転写基板12に、この転写基板12と同期して走行する帯状のシャドウマスク13を密着させ、転写基板12上に有機発光層4aのパターンを形成する。その後、アライメント機構28により転写基板と基板14との位置合わせを行い、転写部23にて転写基板12を有機発光層4aのパターンが形成された面と反対側の面からヒータ27によって加熱して、基板14上に有機発光層4aのパターンを転写する。
請求項(抜粋):
走行する素子作製基板上に有機発光層を形成する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造装置において、走行する帯状の転写基板上に、該転写基板と一部が密着しかつ同期して走行する帯状のシャドウマスクを用いて上記有機発光層のパターンを形成するパターニング部と、上記転写基板を上記有機発光層のパターンが形成された面と反対側の面から加熱して、上記素子作製基板上に上記有機発光層のパターンを転写する転写部とを有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造装置。
IPC (4件):
H05B 33/10
, H05B 33/02
, H05B 33/12
, H05B 33/14
FI (4件):
H05B 33/10
, H05B 33/02
, H05B 33/12 B
, H05B 33/14 A
Fターム (6件):
3K007AB18
, 3K007BA06
, 3K007CA06
, 3K007CB01
, 3K007DB03
, 3K007FA01
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