特許
J-GLOBAL ID：200903010318230553
透明物の検査装置及び検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 俊則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-056434
公開番号（公開出願番号）：特開2008-216150
出願日： 2007年03月06日
公開日（公表日）： 2008年09月18日
要約：
【課題】簡単な構成で、透明な被検査物の表面と内部の両方を同時に検査することができる透明物の検査装置及び検査方法を提供する。【解決手段】(a)透明な被検査物2の表面2aに斜め方向から光束15aを照射し、照射位置15sを線状に移動させる発光部14と、(b)被検査物2に関して発光部14と同じ側において照射位置15sに対向して線状に延在する受光窓16sを有し、受光窓16sを通った光束成分の強度を検出する受光部と、(c)受光部が検出した光束成分の強度に基づいて被検査物の良否判定を行う判定部と、を備える。受光窓16sは、光束成分として、光束15aが照射位置15sにおいて被検査物2の表面2aで正反射された正反射光成分15bと、光束15aが照射位置15sで被検査物2の内部に入射し、裏面2bで反射した後、表面2aから出射した内部反射成分15eとの両方が同時に通るように、広げて形成されている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
透明な被検査物の表面に斜め方向から光束を照射し、該光束の照射位置を線状に移動させる発光部と、
前記被検査物に関して前記発光部と同じ側において前記照射位置に対向して線状に延在する受光窓を有し、該受光窓を通った光束成分の強度を検出する受光部と、
該受光部が検出した前記光束成分の前記強度に基づいて前記被検査物の良否判定を行う判定部と、
を備え、
前記受光窓は、前記光束成分として、前記光束が前記照射位置において前記被検査物の前記表面で正反射された正反射光成分と、前記光束が前記照射位置で前記被検査物の内部に入射し、前記被検査物の裏面で反射した後、前記被検査物の前記表面から出射した内部反射成分との両方が同時に通るように、広げて形成されていることを特徴とする、透明物の検査装置。
IPC (2件)：
G01N 21/896
, G01N 21/958
2G051AA41
, 2G051AA73
, 2G051AA84
, 2G051AB02
, 2G051AB06
, 2G051AB07
, 2G051AB08
, 2G051BA10
, 2G051BC06
, 2G051CA02
, 2G051CB01
, 2G051CC17
, 2G051DA06
