角分散X線分光計

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：奥山尚一 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-504699
公開番号（公開出願番号）：特表2002-505750
出願日： 1998年06月17日
公開日（公表日）： 2002年02月19日
要約：

【要約】X線光源と、単色X線を標本表面上に合焦させる、対数螺線と実質的に同一の形状を備える湾曲結晶モノクロメータと、位置検知X線検出器とを備えるX線分光計を提供する。配向させた標本からの回折強度をリアルタイムで測定する方法は、X線光源と、単色X線を標本表面上に合焦させる、対数螺線と実質的に同一の形状を備える湾曲結晶モノクロメータと、位置検知X線検出器とを備えるX線分光計を設けること、結晶学的に配向させた標本を設けること、X線分光計の合焦されたX線に標本をさらすこと、および位置検知検出器で回折強度を測定することを含む。

請求項（抜粋）：

1.X線光源と、単色X線を標本表面上に合焦させる、対数螺線と実質的に同一の形状を備える湾曲結晶モノクロメータと、位置検知X線検出器とを備えるX線分光計。 2.湾曲結晶モノクロメータが、結晶のアーク長sに沿って線形にテーパ付けされる、請求項1記載のX線分光計。 3.湾曲結晶モノクロメータが、理想的な対数螺線と湾曲結晶との間のアーク長sの3オーダー差を最小限に抑えるテーパとして選択されたテーパを有する、請求項1記載のX線分光計。 4.モノクロメータ結晶が、その全長に沿って矩形以外の形状にされる、請求項1記載のX線分光計。 5.モノクロメータ結晶のテーパが約100ミリラジアン未満である、請求項2記載のX線分光計。 6.線形位置検知比例検出器が使用される、請求項1記載のX線分光計。 7.モノクロメータが、ゲルマニウム、ケイ素、フッ化リチウム、およびそれらの多層構造からなる群より選択される単結晶を含む、請求項1記載のX線分光計。 8.線形フォトダイオード・アレイが使用される、請求項1記載のX線分光計。 9.線形電荷結合素子が使用される、請求項1記載のX線分光計。 10.2次元比例X線検出器が使用される、請求項1記載のX線分光計。 11.2次元電荷結合素子が使用される、請求項1記載のX線分光計。 12.光源とモノクロメータとの間に位置決めされた少なくとも1つの単一スリットをさらに含む、請求項1記載のX線分光計。 13.モノクロメータの前方に複数のスリットが位置決めされる、請求項12記載のX線分光計。 14.単色X線ビームを標本表面上に合焦させ、対数螺線と実質的に同一の形状を備え、結晶のアーク長sに沿って線形にテーパ付けされる湾曲結晶モノクロメータ。 15.湾曲結晶モノクロメータが、理想的な対数螺線と湾曲結晶との間のアーク長sの3オーダー差を最小限に抑えるテーパとして選択されたテーパを有する、請求項14記載のモノクロメータ。 16.モノクロメータ結晶が、その全長に沿って矩形以外の形状にされる、請求項14記載のモノクロメータ。 17.モノクロメータ結晶のテーパが約20ミリラジアン末満である、請求項14記載のモノクロメータ。 18.脂質層中の電子密度を測定する方法であって、 X線光源と、単色X線ビームを標本表面上に合焦させる、対数螺線の形状を備える湾曲結晶モノクロメータと、位置検知X線検出器とを備えるX線分光計を設ける段階、平坦な基板上に付着させた単一の脂質層または多層脂質層を含む標本を設ける段階、および X線分光計の合焦されたX線ビームに標本を暴露する段階を含む方法。 19.標本が天然脂質または合成脂質を含む、請求項18記載の方法。 20.標本が、溶液または懸濁液から遠心分離することによって付着させた天然脂質または合成脂質を含む、請求項18記載の方法。 21.標本が、ラングミュア・ブロジェット付着によって付着させた脂質を含む、請求項18記載の方法。 22.標本が、溶液からの自己アセンブリによって付着させた脂質を含む、請求項18記載の方法。 23.標本をさらに含む、請求項1記載のX線分光計。 24.標本が、エピタキシャル成長させた層を含む、請求項1記載のX線分光計。 25.標本が、蒸着された層を含む、請求項1記載のX線分光計。 26.標本が、エピタキシャル成長させた多層構造または超格子を含む、請求項1記載のX線分光計。 27.標本が、蒸着によって付着させた多層構造を含む、請求項1記載のX線分光計。 28.より大きな膜付着システムの付属品として取り付けられる、請求項1記載のX線分光計。 29.分光計によって決定される膜パラメータを使用して被膜の付着を制御することができる、請求項28記載のX線分光計。 30.水平表面(すなわち、液体)からのX線反射率を測定するように分光計を配向させる、請求項1記載のX線分光計。 31.横方向に走査するように構成される、請求項1記載のX線分光計。 32.湾曲結晶モノクロメータに実質的に垂直な平面に合焦するように位置決めされた第2の合焦装置をさらに備える、請求項1記載のX線分光計。 33.第2の合焦装置が湾曲された鏡を備える、請求項32記載のX線分光計。 34.第2の合焦装置が湾曲された結晶モノクロメータを備える、請求項32記載のX線分光計。 35.配向させた標本からの回折強度をリアルタイムで測定する方法であって、 X線光源と、単色X線ビームを標本表面上に合焦させる、対数螺線の形状を備える湾曲結晶モノクロメータと、位置検知X線検出器とを備えるX線分光計を設ける段階、結晶学的に配向させた標本を設ける段階、 X線分光計の合焦されたX線ビームに標本を暴露する段階、および位置検知検出器で回折強度を測定する段階を含む方法。

IPC (3件)：

G21K 1/06 , G01B 15/02 , G01N 23/20

FI (5件)：

G21K 1/06 B , G01B 15/02 A , G01N 23/20 , G01N 23/20 C , G01N 23/20 M

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