特許

J-GLOBAL ID：200903010325940558

被研磨ピースセット治具およびセット方法

発明者： 増田 達士
出願人/特許権者： 朝日金属工業株式会社
代理人 (1件)： 木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-164664
公開番号（公開出願番号）：特開平7-024727
出願日： 1993年07月02日
公開日（公表日）： 1995年01月27日
要約：

【要約】【目的】 被研磨ピースのキャリアへのセット作業を効率よく行える被研磨ピースセット治具およびセット方法を提供すること。【構成】 セット治具10の本体11の収容面21に、研磨用キャリア93の保持孔95に対応したパターンで収容孔を形成して予め被研磨ピースを保持しておき、カプラ42に接続したチューブ43から減圧して各収容孔22内の各ピースを吸着した状態で凸部24およびピン25と中央開口98および係合孔99とで係合位置決めし、キャリア93に重ね合わせて被研磨ピースを保持孔95に一括して移し込む。【効果】 被研磨ピースのキャリアへのセット作業が簡単かつ確実となり、かつ当該作業を研磨装置外で行えるため装置の稼働効率を向上できる。

請求項（抜粋）：

研磨用キャリアに配列された多数の保持孔にそれぞれ被研磨ピースをセットするための被研磨ピースセット治具であって、本体の一面に形成された平坦な収容面と、前記収容面に前記キャリアの保持孔に対応した配置で形成された多数の収容孔と、前記収容面に前記キャリアを沿わせて各収容孔が各保持孔に一致した状態で前記キャリアと係合可能な位置決め手段と、前記本体の前記収容面以外の表面に形成されて外部の配管に接続可能な接続口と、前記各収容孔の底面から前記接続口まで連通された連通路とを備えたことを特徴とする被研磨ピースセット治具。