特許
J-GLOBAL ID：200903010327705360
マスク保護装置と、その支持構造
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 晃一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-207504
公開番号（公開出願番号）：特開平10-048812
出願日： 1996年08月07日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課 題】収納ケースに納められたペリクルが輸送中に動き、ケースとの接触によって発塵するのを防止すると共に、マスクへの接着のためペリクル枠に貼着される粘着剤がケースの床板の歪みによって変形し、エアパスによる発塵を防止する。【解決手段】ペリクル1の枠の左右に板状の取手2を突設する。収納ケース4には、床板5の左右に段状の受台6を向かい合せに取着すると共に、上蓋7の左右に押え8を下向きに設ける。ペリクル1の左右の取手2を受台6に掛けて載せたのち、上蓋7を閉じると、受台6の段と上蓋7の押え8とで取手2を挟み付けてペリクル1を固定状態で、しかも粘着剤9が床板5と非接触状態で支持される。
請求項（抜粋）：
マスクパターンを囲う大きさのペリクル枠と、その一側面に張設されるペリクル膜と、ペリクル枠の他側端面に貼付される粘着剤や粘着テープ等の接着手段とよりなるマスク保護装置において、ペリクル枠には、以下の(1)〜(3)のうち、少なくとも一つ以上の機能を有する鍔、取手或いは段等を設けたことを特徴とするマスク保護装置。(1)使用時において手又はマニプュレータで掴んで把持することができる。(2)収納ケースへの収納時に収納ケースの底板に接触しないように収納ケースに設けた受台、段等に掛けて支持することができる。(3)固定手段で挟み着けて固定することができる。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/14 K
, H01L 21/30 503 D
