特許

J-GLOBAL ID：200903010329684700

位相型回折格子およびその製造方法

発明者： 庄司 益宏 ,  市川 幸男 ,  上遠野 浩樹 ,  荻原 武男
出願人/特許権者： 呉羽化学工業株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-333124
公開番号（公開出願番号）：特開平10-221514
出願日： 1997年12月03日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】 従来の台形形状の断面を有する位相格子の高次回折光成分を低減化し、低空間周波数領域におけるMTFの低下を少なくした位相型回折格子を提供する。【解決手段】 格子面側に台形波断面形状を有する位相型回折格子であって;該台形波の台形係数(B/A)が0.006≦B/A<1(A:前記台形波に外接する「完全な台形」と、該「完全な台形」に内接する「サインカーブ」との面積の差、B:該「完全な台形」と「台形波」との面積の差)とする。

請求項（抜粋）：

少なくとも格子面側に台形波断面形状を有する位相型回折格子であって;該台形波を構成する1単位周期の台形状部分A〜Jが、下記(定義)に示す上辺部、下辺部、および2つの斜辺を構成する4本の直線と、これらを結ぶ4本の曲線とからなり、該上辺部、下辺部、および2つの斜辺を構成する直線が、下記(条件1)を満足し、且つ、該直線同士を結ぶ曲線が下記(条件2)を満足することを特徴とする位相型回折格子。(台形状部分の定義)台形状部分:曲線AB、直線BC、曲線CD、直線DE、曲線EF、直線FG、曲線GH、直線HI、および曲線IJからなる、台形状部分の高さ :d、台形状部分の周期 :p、高さd/2の直線と台形部分形状の交点k,l、mにおける台形状部分の1次微分係数を傾きとする直線:OP,QR、ST、台形波状波形の高さ0の点を結んだ直線:PT、台形波状波形の高さdの点を結んだ直線:OS、接線OP,QR,STならびに直線PQ,RSから構成された台形波:P〜T、上記台形波の上辺、下辺、2つの斜辺の直線PTへの射影の長さ:それぞれu、v、w、およびx、台形波を構成する1単位周期の台形状部分A〜Jの上辺部直線FG、下辺部直線BC、2つの斜辺を構成する直線DE、およびHIの直線PTへの射影の長さをそれぞれ:u′,v′,w′,x′。(条件1)0≦u′/u<0.900≦v′/v<0.900≦w′/w<0.900≦x′/x<0.90(但し、u+v+w+x=p)(条件2)曲線ABは下に凸な曲線の一部をなす、曲線CDは下に凸な曲線の一部をなす、曲線EFは上に凸な曲線の一部をなす、曲線GHは上に凸な曲線の一部をなす、曲線IJは上に凸な曲線の一部をなす。