特許

J-GLOBAL ID：200903010338014130

電気光学装置の製造方法、電気光学装置の製造方法で製造された電気光学装置、電気光学装置を搭載した電子機器、および液滴吐出装置

発明者： 石田 紘平
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-335543
公開番号（公開出願番号）：特開2005-100895
出願日： 2003年09月26日
公開日（公表日）： 2005年04月14日
要約：

【課題】プラスチックフィルム基板に成膜する場合に、その成膜性を向上させることが可能な電気光学装置の製造方法、電気光学装置の製造方法で製造された電気光学装置、電気光学装置を搭載した電子機器、および液滴吐出装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の電気光学装置の製造方法は、プラスチックフィルム基板3をガラス基板1に接着材料2で仮接着する仮接着工程S1と、プラスチックフィルム基板3をガラス基板1に接着した状態のままで、プラスチックフィルム基板3に対して、EL基板の製造工程を行なうEL基板製造工程S2と、プラスチックフィルム基板3を基体にしてEL基板を製造した後に、ガラス基板1からプラスチックフィルム基板3を剥離する剥離工程S3とを備えている。【選択図】 図1-2

請求項（抜粋）：

プラスチックフィルム基板に膜形成を行う電気光学装置の製造方法において、 前記プラスチックフィルム基板をガラス基板に仮接着する仮接着工程と、 前記ガラス基板に仮接着された前記プラスチックフィルム基板に膜形成を行う膜形成工程と、 前記膜形成工程で膜形成された前記プラスチックフィルム基板を前記ガラス基板から剥離する剥離工程と、 を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。

IPC (2件)：

H05B33/10 ,  H05B33/14

FI (2件)：

H05B33/10 ,  H05B33/14 A

Fターム (4件)：

3K007AB18 ,  3K007CA06 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

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  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-200764   出願人：パイオニア株式会社