特許
J-GLOBAL ID：200903010338129190
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-208389
公開番号（公開出願番号）：特開平10-048223
出願日： 1996年08月07日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課題】探針および試料表面を痛めることなく、しかも、静電容量の情報の信号を十分な強度で得ることが可能な走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】試料5を搭載する試料ホルダーと、探針31と、探針31を試料5上で相対的に走査させるための走査手段と、探針31と試料5との間に電圧を印加し、探針31と試料5との間の静電容量を検出する静電容量検出手段と、探針31の先端に液体の膜33を形成するための手段とを有する。膜33は誘電率が大きいため、領域Iに加えて、液体により探針31と試料5との間が満たされた領域IIにおいても静電容量が計測される。これにより、静電容量検出手段の出力が大きくなる。
請求項（抜粋）：
試料を搭載する試料ホルダーと、探針と、前記探針を前記試料上で相対的に走査させるための走査手段と、前記探針と試料との間に電圧を印加し、前記探針と試料との間の静電容量を検出する静電容量検出手段と、前記探針の先端に液体の膜を形成するための手段とを有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 A
, G01B 21/30 Z
