特許
J-GLOBAL ID：200903010342494863
基板搬送装置のアーム機構
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
桜井 隆夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-243511
公開番号（公開出願番号）：特開平7-069445
出願日： 1993年09月06日
公開日（公表日）： 1995年03月14日
要約：
【要約】【目的】 基板の角度を任意の方向に傾斜させることができ、かつ搬送時間を短かくすることができる基板搬送装置のアーム機構を提供する。【構成】 アーム21の先端側のアームヘッド部22に基板11を配置し該アーム21の手前側をアーム支持部23で支持するアーム機構13を有し、このアーム機構13をアーム支持部23側で任意の方向に移動する機構を有する基板搬送装置において、前記アームヘッド部22は、一定角度回転するディスク28を有する。
請求項（抜粋）：
アームの先端側のアームヘッド部に基板を配置し該アームの手前側をアーム支持部で支持するアーム機構を有し、このアーム機構をアーム支持部側で任意の方向に移動する機構を有する基板搬送装置において、前記アームヘッド部は、一定角度回転するディスクを有することを特徴とする基板搬送装置のアーム機構。
IPC (3件)：
B65G 49/06
, B25J 18/02
, H01L 21/68
